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  • 半导体、电子洁净厂房设计施工的5大特点及关键难点
    半导体、电子洁净厂房设计施工的5大特点及关键难点
    2021-11-18
    这个表格是我们半导体制造一些工艺生产过程的洁净等级要求,要求一般的是光照制造,还有微环境,其他的一些大的区域,包括薄膜等在百级。洁净度的要求是不是越高越好,这个主要还是决定我们的设计,或者对生产的要求,洁净度越高意味着FFU覆盖率会成倍的增加。目前对一些洁净室的设计还是大环境,不需要很高的洁净度。
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