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  • 半导体晶圆厂洁净车间设计建设布局指标要点
    半导体晶圆厂洁净车间设计建设布局指标要点
    Mon Feb 21 14:24:28 CST 2022
    洁净车间最主要的作用就在其能控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产。在晶圆车间中,为了解决晶圆测试中良率不佳、测试结果不稳定,探针测试卡的损毁及晶圆的报废这些问题,洁净室及辅助室的设计就该是厂区建设的首要任务之一
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