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  • 电子集成电路洁净厂房设计建造
    电子集成电路洁净厂房设计建造
    2023-02-25
    集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
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