近日,年产100吨半导体无尘车间高端光刻材料项目奠基仪式在合肥市新站高新区举行,投产后将实现光刻胶关键材料的本地化供应对新站区集成电路产业的稳定发展具有重要意义。
该项目位于新站高新区颍州路与龙子湖路交口,占地面积共50亩,总投资3亿元,旨在打造国内最大的高端半导体DUV级别(ArF/KrF)的光刻胶核心主材料量产基地。产品包括光致产酸剂PAG、BARC层树脂Resin、光引发剂PI等,同时也提供每个最终产品的中间体及核心单体材料,规划建设年产能100吨,将于年底竣工并投入使用。
近年来,新站高新区持续培养战略性新兴产业,从“屏”开始,从“芯”出发,逐渐形成了“2+5”产业生态体系。
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