Thu Nov 20 14:35:08 CST 2025
半导体洁净室地面系统需满足严格的物理化学性能指标。根据SEMI标准及《电子工业洁净厂房设计规范》,地面系统应具备以下特性:平整度误差≤2mm/2m,耐磨转数≥2000转,抗压强度≥80MPa,系统电阻控制在1×10^6~1×10^9Ω。同时需满足防静电、耐化学品腐蚀、抗热冲击等特殊要求。
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