千级净化车间

半导体净化车间设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体检测、EP级管道及BA及管道。供应气管尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理）电气方案（空调设备动力配电等），弱点工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废气处理。