集成电路无尘车间的装修施工需要严格控制洁净度、静电控制和温湿度等要求。以下是合景净化工程公司整理的集成电路无尘车间装修施工的步骤:
首先,根据集成电路行业的要求和洁净度等级,进行车间的设计规划。确定洁净区域、非洁净区域和辅助区域的布局,并考虑空气流动、进出控制和设备安装等因素。进行车间的结构施工,包括墙体、天花板和地板的建设。选择符合洁净要求的材料,如洁净型墙面板、天花板板材和导电地板等。确保施工质量,防止尘埃和颗粒的产生和积聚。
其次,需要安装洁净车间的空调系统,包括空气供应和排风系统,安装高效过滤器,如HEPA和ULPA过滤器。采取静电控制措施,安装温湿度控制系统,监测和调节车间内的温度和湿度水平。
最后,需要设计适当的进出控制措施,如洁净室门、空气淋浴和人员通道等。减少外部颗粒和污染物的进入,并确保人员进出车间时的洁净度要求。
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