在半导体制造、精密电子元器件生产等领域,电子净化工程的洁净室装修质量直接决定产品良率。装修阶段若粉尘控制失效,微米级颗粒不仅会堵塞设备气孔、污染晶圆表面,甚至可能引发电路短路等问题。
电子净化工程装修依据项目的洁净度等级要求、施工流程以及现场环境特点,制定详细且具有针对性的防尘方案。方案中还需包含应急处理措施,以应对可能出现的突发情况,如大风天气导致的外部尘埃侵入等。
在工程施工前,组织全面的防尘培训课程。施工现场应采用坚固耐用的围挡材料,将整个施工区域与外界完全隔离。在围挡的拼接处和出入口,使用密封胶条进行密封处理,确保无缝隙。对于不同洁净度要求的施工区域,进一步采用双层或多层隔离措施,设置缓冲间、气闸室等过渡区域。
物料采购环节,优先选择低尘或无尘的建筑材料和设备。对于必须进行现场加工的物料,提前规划好加工区域,并配备完善的防尘设施。物料在运输和存放过程中,应使用防尘包装进行包裹,避免在搬运和堆放过程中受到外界尘埃的污染。
电子净化工程装修在进行墙面基层处理、腻子刮涂和打磨等作业时,使用喷雾设备对作业面进行持续喷水湿润,使粉尘在湿润状态下不易飞扬。配备大功率的工业吸尘器,在施工过程中实时吸除产生的粉尘。
在地面基层处理阶段,先对地面进行全面清扫,去除杂物和灰尘。在地砖或地板铺设过程中,施工人员应穿戴洁净的工作服和鞋套,避免将外界尘埃带入施工现场。每铺设一定面积后,及时使用吸尘器对地面进行清理。地面施工完成后,立即铺设防尘保护膜,防止后续施工对地面造成污染。
在车间通风管道的制作和安装过程中,采用无尘车间进行管道的加工和组装,确保管道内部的清洁。管道连接处使用密封胶进行密封处理,防止灰尘进入管道内部。对于空调机组等设备,在安装前应进行全面的清洁和检查,更换老化的过滤器,确保设备的过滤性能符合要求。
在设备安装前,对安装现场进行再次清洁和净化处理,确保安装环境的尘埃浓度符合要求。施工人员应穿戴符合洁净标准的防护装备。在设备搬运过程中,使用专用的防尘包装和搬运工具,避免设备表面受到尘埃污染。对于精密设备的安装,应在洁净操作台上进行,操作台应具备良好的防尘和防静电性能。
电子净化工程施工完成后,对整个车间区域进行全面、深度的清洁。采用专业的清洁用具,按照从高到低、从里到外的顺序进行清洁。对于顶棚和墙面,使用专用的无尘清洁工具,去除残留的灰尘和污渍。
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