百级净化工程是电子工业,尤其是半导体、微机电系统、高端显示面板等领域的核心生产环境。其每立方英尺空气中≥0.5μm的尘埃粒子数不超过100个,对装修设计、材料选择、施工工艺的要求极为苛刻。本文合景净化工程公司将围绕注意事项和技术规范两大维度,系统阐述百级电子净化工程装修的关键要点。
一、百级电子净化工程装修注意事项
前期规划:必须明确工艺设备的尺寸、重量、发热量、排风需求、振动敏感性以及所需的水、电、气接口位置和规格。设备布局决定了气流组织、FFU的布置和机电管线的走向。设计时应考虑未来技术迭代和产线扩容的可能性,采用模块化设计,为后续改造预留接口和空间。
材料选择:所有材料必须具有极低的发尘特性。墙面、天花通常采用金属壁板,地面采用环氧或PVC自流平无缝地坪。在化学品使用的区域,材料必须能抵抗酸碱溶剂的腐蚀。材料需具备足够的强度、耐磨性、抗冲击性和抗静电能力,确保使用寿命和清洁的便利性。
施工管理:严格的洁净管制: 必须建立严格的施工准入制度,设置缓冲通道、物料清洁室。所有人员、工具、材料在进入洁净区前必须经过彻底清洁。将施工现场划分为“洁净施工区”、“准洁净区”和“非洁净区”,实行物流、人流的单向流动,严禁交叉作业。
协同作业:净化装修与机电系统、自控系统、消防系统的接口众多且复杂。必须建立高效的跨专业协调机制,确保所有管道、线槽、开口在墙板封装前精准就位,避免后期开孔凿洞,破坏洁净室气密性和完整性。
二、百级电子净化工程装修技术规范
围护结构系统:墙面和天花应采用双面塑喷铝蜂窝或岩棉夹芯彩钢板,厚度通常≥50mm。板面平整光滑,不易积尘,防火等级需达到A级。板材之间采用中字铝拼接,并使用硅胶密封所有缝隙。硅胶应选用无毒、无味、耐老化、防霉的电子级产品。所有阴阳角均需做成R≥50mm的圆弧角,以避免死角,便于清洁。
空调净化系统:百级洁净室普遍采用“垂直层流”方式。通过满布天花的高效FFU向下送风,形成“活塞式”的气流,迅速将污染物压向地板的回风格栅。FFU单元内需内置H14或U15级的高效/超高效过滤器过滤效率对0.3μm颗粒可达99.995%以上。新风机组负责处理室外新鲜空气,承担全部的湿负荷和大部分显热负荷。需具备初效、中效、亚高效三级过滤,以及深度除湿、加热、加湿等功能,保证送风恒温恒湿。
照明系统:必须采用洁净室专用LED净化灯,嵌入式安装,与天花平齐,不易积尘。灯具需具备高亮度、低能耗、长寿命的特点。主要工作区照度需≥400 Lux,某些精细操作区域可能要求更高。
静电防护:整个洁净室应构成一个完整的静电保护系统,包括防静电地面、墙体接地、离子风机、防静电工作服、腕带等,确保静电电位始终处于安全范围。
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